CN119025836A 一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法 (泰微科技(珠海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-20 发布于重庆
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CN119025836A 一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法 (泰微科技(珠海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119025836A

(43)申请公布日2024.11.26

(21)申请号202411521494.8

(22)申请日2024.10.29

(71)申请人泰微科技(珠海)有限公司

地址519000广东省珠海市香洲区福田路

10号厂房1一层-2、三层-2

(72)发明人黎雪峰陈保顺

(74)专利代理机构广东非凡律师事务所44700

专利代理师王昕

(51)Int.Cl.

G06F18/10(2023.01)

G06F17/18(2006.01)

G01B21/20(2006.01)

G01B21/08(2006.01)

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