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半导体芯片生产碳足迹追踪管理规范
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一、半导体生产碳足迹追踪管理总则 4
二、碳足迹追踪范围与组织边界定义 7
三、半导体生产碳源识别与分类标准 10
四、生产环节能耗数据采集技术规范 13
五、关键工艺设备电力能耗实时监测方法 17
六、特种气体与化学品消耗计量标准 20
七、工艺用水环节环境足迹影响核算 23
八、废弃物处理过程碳排放追踪要求 27
九、辅助设施与物流系统能耗计算模型 29
十、碳足迹数据源头完整性管理要求 32
十一、能耗监测设备校验与准确性校准 35
十二、碳足迹追踪管
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