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《gb-t47926-2026半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》培训

目录

02

设备结构与工作原理

01

标准概述与背景

03

核心技术要求

04

测试与检验方法

05

安装与运行维护

06

安全规范与质量验收

标准概述与背景

01

标准制定目的与意义

01.

规范技术要求

统一半导体用磁悬浮自轴承洁净泵的设计、制造和检验标准，确保产品在半导体制造过程中的稳定性和可靠性。

02.

提升行业水平

通过明确技术指标和测试方法，推动国内磁悬浮泵技术发展，提升国产设备在高端半导体领域的竞争力。

03.

保障洁净环境

针对半导体工艺对洁净度的严格要求，规范泵的洁净性能，防止污染，保障半导体生产质量