CN119188584A 一种双改性多能场辅助化学机械抛光金刚石基片的装置及方法 （大连理工大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119188584A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411560278.4

(22)申请日2024.11.04

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市高新园区凌工

路2号

(72)发明人董志刚康仁科冯嘉健杨帆

孙跃文高尚

(74)专利代理机构大连东方专利代理有限责任

公司21212

专利代理师修睿

(51)Int.Cl.

B24B37/00(2012.01)

B24B37/11(2012.01)

B24B37/34(2012.01)

B24B57/02(2006.01