GBT 46384.1-2025 电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶变换红外光谱法标准立项发展报告.docxVIP

电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofAcidityinElectronicGases—Part1:FourierTransformInfraredSpectroscopyMethod

摘要

电子气体是集成电路、显示面板、光伏电池等高端制造业的关键基础材料，其纯度与杂质含量直接影响器件性能与良率。酸度作为电子气体中的关键杂质指标之一，其精准测定对于保障电子气体产品质量至关重要。现行检测方法多依赖化学滴定、电化学传感器等传统手段，存在灵敏度不足、响应速度慢、易受干扰等局限。傅里叶变换红外光谱法（FTIR）凭借其高灵敏度、快速响应、非破坏性检测及多组分同时分析等优势，为电子气体中酸度的测定提供了新的技术路径。本标准（GB/T46384.1-2025）由国家标准化管理委员会发布，于2025年10月31日正式发布，将于2026年5月1日起实施。本报告系统阐述了该标准的立项背景、编制过程、技术内容、适用范围及实施意义，旨在为电子气体行业相关技术人员和管理人员提供参考，推动FTIR技术在电子气体酸度检测领域的规范化应用。

关键词：电子气体；酸度测定；傅里叶变换红外光谱法；国家标准；标准化；杂质检测；半导体材料

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