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集成电路封装生产能耗管控作业规范.docx

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    集成电路封装生产能耗管控作业规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、集成电路封装能耗管控目标与原则 4

    二、能耗管控组织架构与职责划分 6

    三、生产线能耗数据采集与计量标准 10

    四、封装设备用电监控与点位设置 13

    五、关键工艺设备节能运行操作规程 17

    六、洁净室环境系统能效优化作业 20

    七、工业冷却水系统能效提升管控措施 23

    八、空压系统节能管理与泄漏维护规范 25

    九、真空用气系统能耗削减技术要求 28

    十、生产计划与用电负荷平衡调度方案 30

    十一、设备启停与待机节能管控标准 33

    十二、自动化生产线能耗对

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