SEMI F71-23 中文版 word 版详细解读 半导体制程废液处理指南.docxVIP

SEMIF71-23中文版word版详细解读半导体制程废液处理指南

一、标准核心定位与半导体产业核心价值

SEMIF71-23是国际半导体设备与材料协会（SEMI）2023年正式发布的半导体制程废液分类、收集、暂存、预处理、资源化、合规处置全域权威技术指南，全称为《GuidelineforSemiconductorManufacturingWasteLiquidManagementandTreatment》，隶属于SEMIF系列半导体工厂设施、环境健康安全（EHS）核心标准体系。该标准是全球8/12英寸晶圆厂、先进封装厂、芯片测试厂、特种半导体器件产线中，制程化学废液规范化管控、工艺端源头分流、厂区集中处置、合规排放与循环利用的唯一通用行业基线，全面覆盖半导体制程各类酸碱废液、有机溶剂废液、含氟废液、含金属废液、光刻胶废液、CMP研磨废液、氧化性废液的全生命周期管理规范，填补了半导体精密制造场景废液精细化、标准化、资源化管控的行业空白。

半导体制造属于高精密、高化学品消耗、高废液产出的特殊制程产业，单座12英寸晶圆厂日均化学废液产出可达数百吨，废液品类繁杂、组分特殊、腐蚀性强、毒性差异化大、环境风险极高。不同于传统化工废液，半导体制程废液具备品类多、混配风险高、微量重金属富集、特种离子超标、有机溶剂纯度高、可资源化属性强、工况波动大的独有特征，光刻、