CN119039991A 一种用于硅片碱刻蚀抛光的添加剂、反应液及方法与应用 (西安蓝桥新能源科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-21 发布于重庆
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CN119039991A 一种用于硅片碱刻蚀抛光的添加剂、反应液及方法与应用 (西安蓝桥新能源科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119039991A

(43)申请公布日2024.11.29

(21)申请号202411523343.6H01L31/18(2006.01)

(22)申请日2024.10.30

(71)申请人西安蓝桥新能源科技有限公司

地址710000陕西省西安市西咸新区秦汉

新城正阳街道办兰池大道东段1号秦

汉创业中心2号楼202室

(72)发明人张鹏伟章浩然唐丹江曹丽慧

赵雅倩

(74)专利代理机构西安鼎迈知识产权代理事务

所(普通合伙)61263

专利代理师李静

(51)Int.Cl.

C09K13/02(200

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