CN119028882A 多频调制等离子表面处理方法与系统 (南京嘉阳工程技术有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-21 发布于重庆
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CN119028882A 多频调制等离子表面处理方法与系统 (南京嘉阳工程技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119028882A

(43)申请公布日2024.11.26

(21)申请号202411508972.1

(22)申请日2024.10.28

(71)申请人南京嘉阳工程技术有限公司

地址210000江苏省南京市秦淮区大光路

108号二楼210-2室

(72)发明人杨月明朱成季云

(74)专利代理机构南京权盟知识产权代理事务

所(普通合伙)32722

专利代理师苏启

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

权利要求书3页说明书15页附图2页

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