CN119040858A 一种可调流量的喷淋盘装置及薄膜厚度控制方法 （杭州星原驰半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119040858A

(43)申请公布日2024.11.29

(21)申请号202411527766.5

(22)申请日2024.10.30

(71)申请人杭州星原驰半导体有限公司

地址311222浙江省杭州市钱塘区河庄街

道东围路599号博潮城8号厂房

(72)发明人陈培杰李相佰邵大立齐彪

史皓然金太阳赵文韬张啸

(74)专利代理机构杭州运酬专利代理事务所

(特殊普通合伙)33429

专利代理师王叶娟

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/52(2006.01)