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TS2000工业机器人晶圆传送臂维护手册.pdf

TS2000工业机器人晶圆传送臂维护手册.pdf

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    SR系列/TS2000

    工业机器人

    操作手册

    晶圆盒传送机械臂

    本说明书送达芝浦机械工业机器人的最终用户手中。

    2.

    在安装和操作工业机器人前，请仔细阅读并完全理解本手册。

    3.

    阅读完本手册后，请将其置于附近以备将来查阅。

    Rev.1

    2020

    年4月1日

    芝浦机械

    ©

    2020

    SHIBAURA

    MACHINE

    CO.,LTD.

    。

    S

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