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GB/T47768-2026微机电系统（MEMS）技术玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法培训

目录

02

MEMS玻璃浆料键合技术

01

标准背景与适用范围

03

微型V形试验（MCT）原理

04

测试设备与试样制备

05

测量操作步骤与规程

06

数据处理与结果判定

标准背景与适用范围

01

标准制定背景与意义

填补国内测量空白

该标准等同采用IEC62047-27:2017，规范了微机电系统玻璃浆料键合强度测量方法，为MEMS器件质量控制提供统一的技术依据。

通过微型V形试验准确测定键合断裂韧性，有效评估MEMS器件在复杂工况下的结构稳定性，降低因键合失效导致的风险。