CN119056792A 一种石英硅多级清洗工艺 (浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-22 发布于重庆
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CN119056792A 一种石英硅多级清洗工艺 (浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119056792A

(43)申请公布日2024.12.03

(21)申请号202411523558.8B08B13/00(2006.01)

G06T17/00(2006.01)

(22)申请日2024.10.30

(71)申请人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限

公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道成大街618号

(72)发明人高瑾肖尚青张成满吴蔡根

何朝阳

(74)专利代理机构丽水浙源知识产权代理有限

公司33616

专利代理师吴斌林

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