GB/T 48096-2026微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法.pdf

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  • 2026-09-22 发布于四川
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  •   |  2026-08-28 颁布
  •   |  2027-03-01 实施

GB/T 48096-2026微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法.pdf

ICS17.180.99

CCSL50

中华人民共和国国家标准

GB/T48096—2026

微机电结构动态位移参数的

激光多普勒测量方法

LaserDopplermeasurementmethodfordynamicdisplacementparametersof

micro⁃electromechanicalstructures

2026⁃08⁃28发布2027⁃03⁃01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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