GBT 46191-2025 电子级五（二甲氨基）钽标准立项发展报告.docxVIP

电子级五（二甲氨基）钽标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradePentakis(dimethylamino)tantalum

摘要

电子级五（二甲氨基）钽（PDMAT）是集成电路制造中化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）工艺制备氮化钽（TaN）扩散阻挡层与电极材料的关键前驱体。随着半导体制造技术向3nm及以下节点推进，对前驱体材料的纯度、杂质控制和批次稳定性提出了极为严苛的要求。长期以来，国内电子级PDMAT产品缺乏统一的国家标准，导致产品质量参差不齐、检测方法不统一、下游用户验收无据可依，严重制约了我国集成电路材料的国产化进程。在此背景下，GB/T46191-2025《电子级五（二甲氨基）钽》国家标准于2025年10月5日正式发布，并将于2026年5月1日起实施。本标准规定了电子级五（二甲氨基）钽的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息等内容，适用于集成电路制造用电子级PDMAT产品的质量控制与验收。本标准的发布填补了国内该领域标准空白，对规范市场秩序、促进产品质量提升、推动半导体材料国产化替代具有重要的指导意义。

关键词：电子级五（二甲氨基）钽；前驱体材料；化学气相沉积；原子层沉积；国家标准；半导体材料；标准化

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