减薄砂轮测试卷及答案.docxVIP

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  • 2026-09-23 发布于广西
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减薄砂轮测试卷及答案

您的姓名:[填空题]*

_________________________________

一、单选题(共10题,每题3分,共30分)

1.直径300mm硅片的平均厚度约为?[单选题]*

A.625μm

B.725μm

C.775μm(正确答案)

D.850μm

2.晶圆减薄精磨阶段约占总减薄量的?[单选题]*

A.94%

B.80%

C.6%(正确答案)

D.1%

3.半导体减薄砂轮的磨料层主要磨料是?[单选题]*

A.CBN

B.金刚石(正确答案)

C.碳化硅

D.刚玉

4.以下哪种磨削方式是目前大尺寸硅片最主要的平整化

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