TCSCP0059.2-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第2部分:选材与评价.pdfVIP

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  • 2026-09-24 发布于湖北
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TCSCP0059.2-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第2部分:选材与评价.pdf

1Cs77.060

ICS77.060

CCSH25

CCSH25

sc

中国腐蚀与防护学会团体标准

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.2-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传

感器

感器

第2部分;选材与评价

第2部分:选材与评价

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchipand

sensor

sensor——

Part2:Materialselectionandevaluation

2025-0

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