原创力文档ISO/TR23247-100:2025《自动化系统和集成制造用数字孪生框架第100部分：半导体晶锭生长过程管理用例》标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Automationsystemsandintegration—Digitaltwinframeworkformanufacturing—Part100:Usecaseonmanagementofsemiconductoringotgrowthprocess
摘要
随着全球半导体产业竞争格局的深刻变革与智能制造战略的持续推进，数字孪生技术作为
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