GBT 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 标准立项发展报告.docxVIP

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TestMethodforDeterminingGeometricalParametersofPatternsonPatternedSapphireSubstrate

摘要

蓝宝石图形化衬底（PatternedSapphireSubstrate，简称PSS）是LED外延片生长的重要基础材料，其表面图形几何参数的精确测定直接关系到外延生长质量与器件光电性能。随着半导体照明和第三代半导体产业的快速发展，PSS图形结构日趋精细化、多样化，对几何参数测量方法提出了更高要求。然而，此前国内缺乏统一、规范的PSS表面图形几何参数测定标准，导致各企业和检测机构在测量方法、测量条件及数据处理等方面存在较大差异，严重影响了产品质量的一致性和产业协同发展。本标准（GB/T47089-2026）规定了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法，涵盖术语和定义、测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤、数据处理及测量报告等内容。本标准的制定填补了国内在PSS图形几何参数检测领域的标准空白，为产业提供了统一的技术规范，对提升我国半导体照明产业核心竞争力具有重要意义。本标准将于2026年8月1日正式实施。

关键词：蓝宝石图形化衬底；几何参数测定；标准化