JJF (电子) 0139-2025 在片 SOLT 校准件校准规范标准立项发展报告.docxVIP

在片SOLT校准件校准规范标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:CalibrationSpecificationforOn-WaferSOLTCalibrationKits

摘要

在片SOLT校准件是射频、微波及毫米波集成电路在片测试中的核心计量标准器具，其量值准确与否直接关系到芯片特性参数的测量可靠性，对高端芯片研发、器件建模及产线质量控制的精度保障具有举足轻重的作用。随着第五代移动通信、卫星互联网及毫米波雷达等领域的快速发展，器件工作频率已逐步跨入太赫兹频段，对在片校准技术及其校准件量值溯源体系提出了更高要求。然而，我国长期以来缺乏统一的在片SOLT校准件国家计量技术规范，各实验室和生产企业所用校准件在技术指标、校准方法及溯源路径上各自为政，导致测量结果的一致性和可比性难以得到有效保障。本报告基于国家计量技术规范JJF(电子)0139-2025《在片SOLT校准件校准规范》的制定背景，系统阐述了该规范立项的必要性与紧迫性，全面梳理了规范的主要技术内容、校准方法及适用范围，深入分析了规范对于完善我国射频计量溯源体系、支撑高端芯片产业自主可控发展的重要意义，并对规范的后续实施与推广应用提出了展望。

关键词：在片校准；SOLT校准件；计量技术规范；射频计量；量值溯源；矢量网络分析仪；毫米波测试；芯片测试

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