CN119394152A 薄膜厚度测量装置及其激励信号频率确定方法和终端设备 （苏州热工研究院有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119394152A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411524086.8

(22)申请日2024.10.29

(71)申请人苏州热工研究院有限公司

地址215004江苏省苏州市西环路1688号

申请人中广核检测技术有限公司

(72)发明人周国正徐宁李明李晓光

许小兵裴希宝何朋闻慧

(74)专利代理机构深圳市瑞方达知识产权事务

所(普通合伙)44314

专利代理师夏锐文

(51)Int.Cl.

G01B7/06(2006.01)

G01R23/02(2006.01)

G01R27/26(2006.01)