CN119387225A 一种腔室异常处理方法和半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119387225A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411524139.6

(22)申请日2024.10.29

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人冯丽丽

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师张婷

(51)Int.Cl.

B08B3/08(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

B08B3/04(2006.01)

B08B13/