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GBT《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基铪编制说明》.pdf

GBT《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基铪编制说明》.pdf

    《电子级三（二甲氨基）环戊二烯基铪》

    国家标准征求意见稿

    编制说明

    标准起草工作组

    2025年12月

    一、工作简况

    1.1标准立项的目的和意义

    电子级三（二甲氨基）环戊二烯基铪（简称Cp-Hf)是一种重要的半导体铪前驱体，CAS

    号：33271-88-4，性能稳定且易挥发，分子式C11H23N3Hf,是一种有机金属化合物，无

    色或浅黄色透明液体，

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