原创力文档国家推荐标准报批资料
国家推荐标准《半导体晶片装载盒测试方法》（征求意见稿）
编制说明
一、工作简况
1、任务来源
国家标准计划《半导体晶片装载盒测试方法》由TC203（全国半导体设备和
材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。计划编号T-469，项目周期18个月。
2、立项目的和意义
半导体晶圆盒在半导体制造行业应用广泛，从制程前的晶圆加工，到将晶圆
转运至半导体制造工
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