半导体器件——微机电器件——第52部分：可拉伸MEMS的双轴拉伸试验方法 标准立项发展报告.docx

半导体器件——微机电器件——第52部分：可拉伸MEMS的双轴拉伸试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part52:BiaxialtensiletestingmethodforstretchableMEMS

摘要

随着柔性电子技术与微机电系统（MEMS）的深度融合发展，可拉伸MEMS器件在可穿戴设备、生物医学传感、柔性显示及软体机器人等前沿领域展现出巨大的应用潜力。然而，可拉伸MEMS器件在服役过程中不