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超纯水（UPW）系统标准运维SOP手册（通用工业版）

一、手册总则

1.1编制目的

规范超纯水（UPW）系统开机、运行、巡检、保养、消毒、耗材更换、故障处置全流程操作，稳定产水水质、延长设备寿命、降低运维风险，保障生产、实验、制程用水持续达标，实现运维标准化、规范化、可追溯化。

1.2适用范围

本SOP适用于实验室、制药、电子半导体、光伏、新能源、精密制造等行业二级RO+EDI+抛光混床工艺的超纯水系统，覆盖从原水预处理至终端超纯水供水全单元运维管理。

1.3执行标准

GB/T11446.1-2013《电子级超纯水》、SEMIF150/F61超纯水运维规范、企业洁净用水管控标准。

1.4核心运维准则

1.连续稳态原则：UPW系统优先24h连续运行，严禁长时间停机静置，防止树脂滋生微生物、管路析出污染、水质劣化。

2.预防运维原则：以周期性保养、前置替换、定期消毒替代故障抢修，杜绝带病运行。

3.水质优先原则：所有操作、保养、改造均以电阻率、TOC、微生物、颗粒物指标达标为底线。

4.可追溯原则：所有巡检、更换、消毒、故障记录存档留存，做到操作有据、变更可查。

二、系统工艺与水质指标标准

2.1标准工艺流程

原水→原水泵→多介质过滤→活性炭过滤→PP精密过滤→一级RO→二级RO→RO产水水箱→EDI系统→抛光混床→UV杀