材料结构分析(15.1.2)--电子探针原理.pptVIP

第十五章

电子探针;电子探针X射线微区分析(EPMA);JXA-8230;1.EPMA工作原理

用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品中各元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量）即可得到元素的种类（定性分析）；定量分析是分析特征X射线的强度，得到样品中相应元素的含量。

电子探针的功能主要是进行微区成分分析;;;X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：

能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。

波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。

;WDS组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。

原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地改变?，就可以在与X射线入射方向呈2?的位置上测到不同波长的特征X射线信号。

为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。;平整晶体对X射线的布喇格衍射;弯曲晶体谱仪的一种聚焦方式Johansson型;直进式波谱仪;回转式波谱仪;*;CommonAnalyzingCrystalsandElements;分光晶体化学式;2.EPMA分析的特点

1）可进行几个微米范围内微区分析

2）元素分析范围广(从硼（B）到铀（U）)

3）定量分析准确度高（检测极限为（0.01-0.05）wt%）

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