GBT 17873-2025 纯氖、高纯氖和超纯氖标准立项发展报告.docxVIP

纯氖、高纯氖和超纯氖标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:PureNeon,High-PurityNeonandUltra-PureNeon

摘要

氖气作为稀有气体中的重要成员，在半导体制造、激光技术、照明工程、低温超导及航天科技等高新技术领域具有不可替代的应用价值。随着我国集成电路产业和高端制造业的快速发展，市场对氖气产品纯度等级划分、杂质控制指标及检测方法提出了更高要求。本标准立项旨在修订和完善纯氖、高纯氖和超纯氖的技术要求、试验方法、检验规则及包装储运规范，以适应产业升级和技术进步的需要。标准编号为GB/T17873-2025，于2025年8月29日发布，将于2026年3月1日正式实施。本报告系统阐述了标准立项的背景与意义、主要技术内容、修订要点及实施预期效益，旨在为相关企事业单位和技术人员提供参考。

关键词

中文关键词：氖气；高纯气体；超纯气体；标准立项；杂质控制；半导体材料；气体纯度

Keywords:Neon;High-puritygas;Ultra-puregas;Standardization;Impuritycontrol;Semiconductormaterials;Gaspurity

一、引言

氖（Ne）是元素周期表中第二周期的稀有气体元素，原子序数为10，在标准状态下