SJT 12217-2026《电子级三氯化铝》标准立项发展报告.docx

SJ/T12217-2026《电子级三氯化铝》标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeAluminumTrichloride

摘要

随着半导体、显示面板及光伏等电子产业的迅猛发展，高纯度电子化学品作为产业链上游关键支撑材料，其质量稳定性与标准化水平直接决定了下游元器件的良率与可靠性。电子级三氯化铝作为重要的电子特种气体及催化材料前驱体，广泛用于集成电路制造中的金属有机化学气相沉积、外延生长、离子注入及高纯铝材制备等关键工艺。当前，国内缺乏统一的电子级三氯化铝产品标准，导致市场产品质量参差不齐，技术指标与检验