2026年新大型半导体设备安全员考试题库及答案.docx

2026年新大型半导体设备安全员考试题库及答案

一、单项选择题（每题1分，共30分）

1.根据我国《特种设备安全监察条例》的规定，下列哪项不属于特种设备？

A.额定起重量大于或者等于0.5t的升降机

B.用于半导体生产的洁净室专用空调机组

C.最高工作压力大于或者等于0.1MPa（表压）的气体储罐

D.额定功率大于或者等于0.5MW的有机热载体锅炉

答案：B

2.在半导体制造厂中，用于硅片蚀刻的干法刻蚀设备，其工艺腔体内部最常见的危险气体是：

A.氮气（N2）

B.氩气（Ar）

C.四氟化碳（CF4）和六氟化硫（SF6）等氟化物气体

D.氧气（O2）

答案：C

3.处理高纯度硅