半导体行业安全风险分级管控清单.xlsxVIP

半导体行业安全风险分级管控清单

部位场所/设备设施/作业活动 步骤/子单元 危险源描述 事故类型 固有属性风险等级 L E C D 现状风险等级 技术措施 管理措施 应急措施 个体防护 安全教育培训

洁净室生产区 人员通行与物料转运 设备带电端子和漏电金属外壳（致害物）人员触碰形成电流通路（伤害方式）造成电击伤或死亡（后果） 触电 较大风险（橙色） 0.2 6 40 48 低风险（蓝色） 洁净室生产区带电部位采用IP2X隔离并可靠接地；回路设置过流、短路及剩余电流保护，开门联锁切断危险电源。 人员通行与物料转运开始前由作业负责人核对设备状态、联锁、物料和作业边界并记录；异常报警后停止作业，未经原因确认不得复位。 立即切断上级电源，使用绝缘工具脱离电源并实施心肺复苏；拨打急救电话并保护现场。 电气作业穿绝缘鞋，按电压等级使用检验合格的绝缘手套、绝缘垫和面屏。 相关人员完成洁净室生产区的人员通行与物料转运、报警含义、联锁禁用、停机隔离和现场应急实操考核，合格后独立作业；变更后重新考核。

洁净室生产区 人员通行与物料转运 自动门、机械手和传动机构（致害物）人员进入动作范围被夹挤或卷入（伤害方式）造成挤压伤、骨折或截肢（后果） 机械致害 一般风险（黄色） 0.5 6 15 45 低风险（蓝色） 洁净室生产区运动部件设置固定防护罩、门禁联锁和急停；联锁动作后危险运