CN118996380A 用于晶圆表面处理的薄膜均质化沉积方法及装置 （江苏永鼎股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118996380A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411497357.5

(22)申请日2024.10.25

(71)申请人江苏永鼎股份有限公司

地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖高

新区国道路1788号

(72)发明人路庆海周莉张金胜潘静雯

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代

理事务所(普通合伙)32257

专利代理师张荣

(51)Int.Cl.

C23C16/44(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图2页