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- 2026-09-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118999381A
(43)申请公布日2024.11.22
(21)申请号202411485181.1
(22)申请日2024.10.23
(71)申请人浙江双元科技股份有限公司
地址310015浙江省杭州市拱墅区莫干山
路1418-41号2号楼
(72)发明人胡继洲胡美琴郑建
(74)专利代理机构北京市隆安律师事务所
11323
专利代理师伍佳
(51)Int.Cl.
G01B11/06(2006.01)
权利要求书2页说明书10页附图4页
(54)发明名称
一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及
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