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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101501247B*
(12)发明专利
(10)授权公告号CN101501247B
(45)授权公告日2011.11.23
(21)申请号200780029295.3C23C8/38(2006.01)
C23C8/50(2006.01)
(22)申请日2007.07.30
C23C8/56(2006.01)
(30)优先权数据
C23C8/80(2006.01)
216577/2006
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