电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶变换红外光谱法 标准立项发展报告.docx

电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofAcidityinElectronicGasesPart1:FourierTransformInfraredSpectroscopyMethod

摘要

电子特种气体是集成电路、平板显示、光伏电池等泛半导体领域制造过程中不可或缺的关键基础材料，其纯度与杂质含量直接决定器件性能、成品率及工艺稳定性。酸度作为电子气体中一类关键品质控制指标，涵盖氯化氢、氟化氢、氮氧化物等酸性杂质，对光刻胶、金属互连层及衬底材料具有显著腐蚀效应。随着我国半导体产业规模的持续扩张与制程工艺的不断微缩，对电子气体中痕量酸性组分的精准测定提出了更高要求。本标准（GB/T46384.1-2025）基于傅里叶变换红外光谱（FTIR）技术，结合多组分光谱拟合与特征吸收峰定量算法，确立了电子气体中酸度测定的通用方法。标准内容涵盖原理、仪器设备、试剂材料、测定步骤、结果计算与报告要求等完整技术要素，适用于惰性气体、刻蚀气体、沉积气体等常见电子气体品种的酸度检测与质量控制。本标准的发布实施填补了我国电子气体酸度检测领域专项方法标准的空白，有效统一了行业检测口径，为提升国产电子气体质量稳定性、保障半导体产业链供应链安全提供了有力的