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特种气体系统工程技术规范

本技术规范适用于新建、改建、扩建的电子制造、生物医药、先进光伏、新型显示领域特种气体储存、输送、分配、使用及尾气处理全流程系统的工程设计、施工、验收及运行维护，不适用于民用燃气、大宗工业气体长输管线、城镇燃气调压站系统。特种气体按危险特性划分为四类：Ⅰ类为剧毒、自燃、强腐蚀性气体，涵盖砷烷、磷烷、硅烷、乙硼烷、氯气、三氯化硼、六氟化钨、四氯化钛等；Ⅱ类为易燃、弱腐蚀性气体，涵盖氢气、氨气、浓度≤10%的硅烷稀释混合气、氯化氢、硫化氢、一氧化碳等；Ⅲ类为窒息性、高氧化性气体，涵盖纯度≥99.99%的高纯氧气、高纯氮气、高纯氩气、二氧化碳、一氧化二氮等；Ⅳ类为低毒、低反应活性特种气体，涵盖六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷等。

1系统设计技术要求

1.1储存系统设计

Ⅰ类特种气体储存间必须设置为独立防火分区，建筑耐火等级不低于一级，与相邻生产区域的隔墙采用厚度不小于200mm的钢筋混凝土防爆墙，防爆泄压面积按0.22m2/m3泄压比设置，泄压方向避开人员通行通道、精密工艺设备区、办公及后勤区域。储存间通风系统采用防爆型变频风机，正常工况下通风换气次数不低于12次/小时，事故工况下不低于30次/小时；进风口设置在距地面0.3m的储存间下部区域，排风口分两组设置，一组位于储存间顶部用于收集轻质泄漏气体，一组位于距地面0.2m的下部区域用于收集重质泄漏气体