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特种气体系统工程设计规范

本规范适用于新建、扩建、改建的电子信息制造、光伏新能源、生物医药合成、高端材料加工领域中，工作压力范围为真空至42MPa、气体纯度不低于99.99%（4N）的可燃性、自燃性、毒性、腐蚀性、氧化性特种气体系统工程设计，不适用于城镇燃气、民用建筑供气、剧毒化学品长输管道系统设计。特种气体系统工程设计应遵循本质安全、品质可控、节能降碳、运维便捷的核心原则，所有设计参数除满足本规范明确要求外，尚应符合国家现行工业安全、压力管道、环境保护相关强制性标准规定，不得采用国家明令淘汰的工艺、设备与材料。

一、基本设计规定

设计前应全面梳理项目所用特种气体的理化特性、职业接触限值、火灾危险性分类、工艺供应要求，建立完整的特气参数清单：自燃性气体包含硅烷、磷烷、乙硼烷、三乙基硼等，泄漏后遇空气可无需点火源自燃；剧毒气体包含砷烷、磷烷、乙硼烷、锗烷等，短时间接触低浓度即可造成急性中毒甚至死亡，时间加权平均阈限值（TLV-TWA）均低于0.5ppm；腐蚀性气体包含氯化氢、溴化氢、氯气、三氟化硼、六氟化钨等，遇水汽易生成强酸或强氧化性物质，可腐蚀金属、灼伤人体组织；氧化性气体包含氧气、三氟化氯、一氧化二氮、三氟化氮等，本身不可燃但可剧烈助燃，与油脂、有机物接触可引发自燃；惰性特气包含高纯氩、高纯氦、六氟化硫等，无明显毒性、可燃性，但高浓度泄漏可引发缺氧窒息。

所有特气系统的供气冗余