表面化学分析——辉光放电质谱——操作程序标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—GlowDischargeMassSpectrometry—OperatingProcedures
摘要
辉光放电质谱法(GlowDischargeMassSpectrometry,GDMS)作为固体材料直接分析的重要技术手段,在痕量元素和超痕量元素定性定量分析中具有不可替代的地位。随着新材料、半导体、新能源等战略性新兴产业的快速发展,对固体材料中痕量杂质元素的精准分析需求日益迫切。国际标准化组织(ISO)于2025年3月正式发布ISO/TS15338:2025《表面化学分析——辉光放电质谱——操作程序》,该标准由ISO/TC201表面化学分析技术委员会负责制定,系统规定了辉光放电质谱分析的操作程序、仪器校准、样品制备、数据采集与处理等技术要求。本报告全面梳理了该标准的立项背景、编制过程、核心技术内容及应用价值,深入分析了标准对推动表面化学分析领域标准化进程的重要意义。研究表明,该标准的发布实施将有效规范GDMS分析操作流程,提升分析结果的准确性与可比性,为材料科学研究、工业质量控制及国际贸易提供重要的技术支撑。
关键词:辉光放电质谱;表面化学分析;操作程序;标准化;痕量分
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