CN119592928A 一种减少掉粉的硅片承载装置及方法 (南通玖方新材料股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-30 发布于重庆
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CN119592928A 一种减少掉粉的硅片承载装置及方法 (南通玖方新材料股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119592928A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411847441.5H01L21/683(2006.01)

(22)申请日2024.12.16

(66)本国优先权数据

202422488408.X2024.10.15CN

(71)申请人南通玖方新材料股份有限公司

地址226000江苏省南通市高新区碧华路

1199号东久(南通)智造园A5

(72)发明人高晗施磊杨宗明王小东

陈全胜刘尧平

(74)专利代理机构南通国鑫智汇知识产权代理

事务所(普通合伙)32606

专利代理师顾新民

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