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面向第三代半导体的滚磨定向多物理场耦合建模与工艺窗口优化.docx

面向第三代半导体的滚磨定向多物理场耦合建模与工艺窗口优化.docx

    面向第三代半导体的滚磨定向多物理场耦合建模与工艺窗口优化

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u16773摘要 3

    24774一、研究背景与理论基础 5

    109501.1第三代半导体碳化硅器件发展现状与应用趋势 5

    18991.2滚磨定向加工工艺的技术原理与核心挑战 6

    275821.3多物理场耦合理论在精密加工工艺中的研究进展 9

    4465二、多物理场耦合建模与机理研究 12

    92212.1热力电磁耦合机制与滚磨过程数值模拟 12

    118232.2磨粒动力学行为与材料去除机理分析 14

    90092.3损伤层形成机制与微观组织结构演

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