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抛光液研磨抛光效果检验作业规范

第一章总则

目的与适用范围

为规范抛光液在研磨抛光工序后的效果检验流程，确保检验作业的标准化、科学化与可重复性，从而客观、准确地评估抛光液性能及最终加工工件的表面质量，特制定本作业规范。本规范适用于所有使用抛光液进行精密研磨与抛光加工后的工件表面质量检验工序，包括但不限于半导体硅片、光学元件、精密模具、医疗器械部件及高端装饰件等领域。检验人员、工艺工程师及质量管理人员均需严格遵循本规范执行。

基本原则

检验作业应遵循以下基本原则：

1.客观公正原则：所有检验操作与判定必须基于可量化的测量数据和客观的观察标准，避免主观臆断。

2.科学严谨原则：检验方法的选择