GBT 15074-2025 电子探针定量分析方法通则标准立项发展报告.docx

电子探针定量分析方法通则标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:GeneralRulesforQuantitativeAnalysisMethodofElectronProbeMicroanalysis

摘要

电子探针显微分析（EPMA）作为微区成分分析的核心技术手段，在地质学、材料科学、冶金工程、半导体制造等众多领域发挥着不可替代的作用。随着科学技术的快速发展，电子探针仪器的硬件性能、软件算法和分析应用需求均发生了深刻变化，原标准已难以全面适应当前的技术发展和实际应用需要。本标准立项旨在修订完善电子探针定量分析方法的技术规