JBT 11716-2025 螺杆型干式真空泵标准立项发展报告.docx

螺杆型干式真空泵标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:ScrewTypeDryVacuumPump

摘要

干式真空泵是半导体、光伏、锂电、医药化工等高端制造领域获得无油清洁真空环境的关键基础装备，其性能水平直接影响工艺质量与产品良率。螺杆型干式真空泵凭借结构紧凑对称、抽气速率范围宽、耐粉尘与可凝性气体能力强、维护成本低等优势，已成为干式真空泵市场的主流机型。为适应产业技术进步与市场需求变化，工业和信息化部于2025年7月2日批准发布机械行业标准JB/T11716—2025《螺杆型干式真空泵》，该标准自2