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低能电子衍射表面结构试验规范

1.范围

本规范规定了低能电子衍射（LowEnergyElectronDiffraction，LEED）表面结构试验的术语定义、试验原理、仪器设备要求、样品制备流程、试验操作步骤、数据采集与分析方法、试验安全防护以及试验报告编制要求。本规范适用于单晶、多晶薄膜、二维材料等固体样品的表面原子结构表征，包括表面重构、吸附质结构、表面缺陷密度测定等试验场景，可覆盖材料科学、表面物理、催化化学、微电子制造等领域的LEED测试需求。本规范不适用于挥发性强、高温下易分解的有机样品，以及绝缘性极强、无法有效消除表面荷电效应的样品测试。

2.规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T20174-2006真空技术质谱检漏仪校准方法GB/T32564-2016表面化学分析俄歇电子能谱分辨率的测定JJG027-2018低能电子衍射仪校准规范ISO18117:2019表面化学分析低能电子衍射试验方法导则

3.术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1低能电子衍射能量在20eV~2000eV范围内的电子束入射到固体表面，与表面原子的价电子和原子核发生弹性散射，散射电子因相位相干形成衍射图案的