CN119179231A 含dnq的双感光光刻胶材料及其制备方法与应用 （倍晶新材料(山东)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119179231A

(43)申请公布日2024.12.24

(21)申请号202411475577.8

(22)申请日2024.10.22

(71)申请人倍晶新材料（山东）有限公司

地址271000山东省泰安市高新区正阳门

大街28号国家高创中心东塔2001号

(72)发明人刘俊俊杨翠

(74)专利代理机构北京盛询知识产权代理有限

公司11901

专利代理师吴立强

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

权利要求书1页说明书10页附图3页

(54)发明名称

含DNQ的双感光光刻胶材料