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MEMS微型传感器集成规范.docx

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    MEMS微型传感器集成规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、术语与定义 5

    三、集成总体要求 9

    四、传感器件选型规范 12

    五、电气接口设计规范 15

    六、芯片封装集成规范 18

    七、机械结构集成规范 21

    八、信号处理电路集成 23

    九、集成校准技术规范 26

    十、可靠性设计规范 29

    十一、环境适应性要求 33

    十二、集成性能测试方法 39

    十三、生产过程质量控制 42

    十四、失效分析处理规范 46

    十五、集成数据管理要求 49

    十六、产品标识包装规范 51

    十七、交付验收标准规范

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