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MEMS传感器教学计划
目录TOC\o1-4\z\u
一、课程概述 4
二、教学目标 5
三、知识结构 7
四、MEMS技术基础 10
五、传感器工作原理 13
六、微机电系统结构 16
七、微纳加工技术 19
八、硅基材料与功能材料 23
九、力学量传感器 25
十、电容式传感器 28
十一、压阻式传感器 32
十二、压电式传感器 34
十三、谐振式传感器 40
十四、热学与光学传感器 43
十五、惯性传感器 46
十六、压力与声学传感器 48
十七、接口电路设计 50
十八、信号调理与采集
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