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MEMS柔性传感器工艺手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、MEMS柔性传感器基本概述 3
二、柔性基底材料选型与特性 5
三、敏感材料选择与性能要求 8
四、柔性传感器结构设计原则 10
五、柔性基底预处理工艺方法 14
六、MEMS柔性传感器光刻工艺 16
七、薄膜沉积工艺与参数控制 19
八、湿法刻蚀工艺与流程规范 24
九、干法刻蚀工艺与操作要点 27
十、柔性传感器图形转移工艺 29
十一、敏感层掺杂工艺与调控方法 33
十二、异质材料键合工艺技术 35
十三、柔性电极制备与性能优化 38
十四、柔性传感
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