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MEMS传感器动态测试方案.docx

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    MEMS传感器动态测试方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、方案适用范围与编制原则 4

    二、MEMS传感器相关术语定义 6

    三、动态测试总体技术要求 9

    四、测试前设备与样品准备 12

    五、动态测试环境条件要求 15

    六、振动特性动态测试方法 18

    七、冲击响应动态测试方法 21

    八、动态压力响应测试方法 26

    九、动态加速度特性测试方法 28

    十、动态温湿度适应性测试 30

    十一、动态测试实施流程规范 33

    十二、测试数据采集参数设置 39

    十三、测试数据处理与分析方法 41

    十四、测试结果判定与分级规则

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