MEMS陀螺传感器测试规范.docx

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MEMS陀螺传感器测试规范

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一、总则 4

二、规范性引用文件 10

三、术语和定义 11

四、测试分类与要求 14

五、测试条件总要求 18

六、外观与结构检查 20

七、电性能参数测试 22

八、零偏稳定性测试 32

九、标度因数测试 35

十、角度随机游走测试 37

十一、阈值测试 39

十二、带宽测试 42

十三、线性度测试 45

十四、交叉耦合测试 47

十五、温度特性测试 50

十六、振动特性测试 53

十七、冲击特性测试 55

十八、恒温漂移测试 60

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